A1042_2021 - QM-IFOX - Atomic Layer Deposition System Published by Tenders Electronic Daily

A1042_2021 - QM-IFOX - Atomic Layer Deposition System

Application deadline

16.05.2022, 09:30 hour

Procedure

Open procedure

Order type

Delivery order

Main CPV code
  • Checking and testing apparatus
    38500000-0
Language

German

Contracting authority / owner

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Hahn-Meitner-Platz 1//Einkauf: Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin
14109 Berlin
Germany
Tel.: +49 30/8062-13185
Fax: +49 30/8062-12925
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de
Website: http://www.helmholtz-berlin.de

assignment

Gegenstand dieses Vergabeverfahrens ist die Lieferung eines Atomic Layer Deposition Systems, gemäß technischer Spezifikation und Vergabeunterlagen.

Description of procurement /scope of services

Das Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie (HZB) ist eine Forschungseinrichtung des Bundes und des Landes Berlin zur Erforschung neuer Materalien und für erneuerbarer Energie. Die neue ALD-Anlage wird im Institut Funktionale Oxide verwendet. Ein kombiniertes ALD/CVD-System wird für die Entwicklung der Abscheidung komplexer Oxide eingesetzt. Die Möglichkeit, das System auf bis zu 700°C zu erhitzen, wird es ermöglichen, es im CVD-Modus zu verwenden. Dies erweitert die Auswahl der verwendeten Ausgangsstoffe, die erreichbare Wachstumsrate und die Kristallisation der abgeschiedenen Schicht.Die höhere Temperatur ist notwendig, um epitaktische komplexe Oxide zu züchten. Wir werden auch ALD- und CVD-Verfahren in ein und derselben Abscheidung kombinieren. Schließlich werden wir auch in der Lage sein, die amorphen ALD-Schichten in situ zu glühen. Der Reaktor wird auch als Backup für ferroelektrische Hfo.sZro.sO2-Filme und Ga2O3-Filme verwendet.
Das Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie (HZB) ist eine Forschungseinrichtung des Bundes und des Landes Berlin zur Erforschung neuer Materalien und für erneuerbarer Energie. Die neue ALD-Anlage wird im Institut Funktionale Oxide verwendet.*** Ein kombiniertes ALD/CVD-System wird für...
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Project adress

Region (NUTS code): DE300 Berlin
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB),QM-IFOX - Herr Sven Wiesner, Gebäude H 104, Hahn-Meitner-Platz 1, 14109 Berlin

Deutschland-Berlin: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen

2022/S 075-198888

Auftragsbekanntmachung

Lieferauftrag

Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU

Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber

I.1)Name und Adressen
Offizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1//Einkauf: Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin
Ort: Berlin
NUTS-Code: DE300 Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland
Kontaktstelle(n): Sabine Zienecke
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de
Telefon: +49 30/8062-13185
Fax: +49 30/8062-12925
Internet-Adresse(n):
Hauptadresse: http://www.helmholtz-berlin.de
I.3)Kommunikation
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: https://www.subreport.de/E44624584
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: https://www.subreport.de/E44624584
Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen an die oben genannten Kontaktstellen
Im Rahmen der elektronischen Kommunikation ist die Verwendung von Instrumenten und Vorrichtungen erforderlich, die nicht allgemein verfügbar sind. Ein uneingeschränkter und vollständiger direkter Zugang zu diesen Instrumenten und Vorrichtungen ist gebührenfrei möglich unter: https://www.subreport.de/E44624584
I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere: Großforschungseinrichtung
I.5)Haupttätigkeit(en)
Andere Tätigkeit: Grundlagenforschung

Abschnitt II: Gegenstand

II.1)Umfang der Beschaffung
II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:

A1042_2021 - QM-IFOX - Atomic Layer Deposition System

II.1.2)CPV-Code Hauptteil
38500000 Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
II.1.3)Art des Auftrags
Lieferauftrag
II.1.4)Kurze Beschreibung:

Gegenstand dieses Vergabeverfahrens ist die Lieferung eines Atomic Layer Deposition Systems, gemäß technischer Spezifikation und Vergabeunterlagen.

II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
II.1.6)Angaben zu den Losen
Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
II.2)Beschreibung
II.2.3)Erfüllungsort
NUTS-Code: DE300 Berlin
Hauptort der Ausführung:

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB),

QM-IFOX - Herr Sven Wiesner, Gebäude H 104, Hahn-Meitner-Platz 1, 14109 Berlin

II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:

Das Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie (HZB) ist eine Forschungseinrichtung des Bundes und des Landes Berlin zur Erforschung neuer Materalien und für erneuerbarer Energie. Die neue ALD-Anlage wird im Institut Funktionale Oxide verwendet.

*** Ein kombiniertes ALD/CVD-System wird für die Entwicklung der Abscheidung komplexer Oxide eingesetzt. Die Möglichkeit, das System auf bis zu 700°C zu erhitzen, wird es ermöglichen, es im CVD-Modus zu verwenden. Dies erweitert die Auswahl der verwendeten Ausgangsstoffe, die erreichbare Wachstumsrate und die Kristallisation der abgeschiedenen Schicht.

Die höhere Temperatur ist notwendig, um epitaktische komplexe Oxide zu züchten. Wir werden auch ALD- und CVD-Verfahren in ein und derselben Abscheidung kombinieren. Schließlich werden wir auch in der Lage sein, die amorphen ALD-Schichten in situ zu glühen. Der Reaktor wird auch als Backup für ferroelektrische Hfo.sZro.sO2-Filme und Ga2O3-Filme verwendet.

***

II.2.5)Zuschlagskriterien
Die nachstehenden Kriterien
Qualitätskriterium - Name: Qualität / Gewichtung: 50
Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10
Preis - Gewichtung: 40
II.2.6)Geschätzter Wert
Wert ohne MwSt.: 500 000.00 EUR
II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Laufzeit in Monaten: 6
Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
II.2.11)Angaben zu Optionen
Optionen: nein
II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
II.2.14)Zusätzliche Angaben

Gewünschter Liefertermin: Q4/2022, spätestens 15.12.2022

Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben

III.1)Teilnahmebedingungen
III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

- Handelsregisterauszug (nicht älter als drei Monate)

III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sind die nachfolgenden Unterlagen einzureichen:

- Unternehmenspräsentation mit Alleinstellungsmerkmalen

- Nachweis der Betriebshaftpflichtversicherung des Unternehmens

- Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderenLeistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die letzten 3 Geschäftsjahre. Sofern dies nichtgelingt, z. B. aufgrund von Fusion, Übernahme oder Umfirmierung, sind entsprechende Nachweise derUnternehmenswandlung beizulegen. Die wirtschaftliche Leistungsfähigkeit ist hierbei hervorzuheben.

- Nachweis der Vertretungsbefugnis bei juristischen Personen (Zeichnungsberechtigung i.V. oder i.A.)

- Bevollmächtigung des Vertreters bei Bietergemeinschaften

- Unterschriebene Eigenerklärung

III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Geeignete Bewerber / Bieter sind Unternehmen, die vollständige ALD-Systeme anbieten und nachweislich in den letzten zwei Jahren mehr als fünf Anlagen verkauft haben. Erwartet wird der Nachweis einer dauerhaften Funktionsfähigkeit der Geräte von mindestens 5 Jahren.

III.2)Bedingungen für den Auftrag
III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
Verpflichtung zur Angabe der Namen und beruflichen Qualifikationen der Personen, die für die Ausführung des Auftrags verantwortlich sind

Abschnitt IV: Verfahren

IV.1)Beschreibung
IV.1.1)Verfahrensart
Offenes Verfahren
IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem
IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
IV.2)Verwaltungsangaben
IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Tag: 16/05/2022
Ortszeit: 09:30
IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können:
Deutsch, Englisch
IV.2.6)Bindefrist des Angebots
Das Angebot muss gültig bleiben bis: 15/06/2022
IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Tag: 16/05/2022
Ortszeit: 10:00
Ort:

Berlin

Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren:

Die Angebotsöffnung erfolgt elektronisch.

Die Anweseneheit von Bietern ist nicht zulässig.

Abschnitt VI: Weitere Angaben

VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
Aufträge werden elektronisch erteilt
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die Zahlung erfolgt elektronisch
VI.3)Zusätzliche Angaben:

Der Auftrag wird aus technischen Gründen nur als Gesamtpaket an einen Lieferanten vergeben.

Bitte registrieren Sie sich für die Teilnahme an der elektronischen Ausschreibung kostenlos unter www.subreport.de und laden sich die Unterlagen für die Angebotsabgabe herunter. Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für die Ausschreibung relevanten Informationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen oder Vergabeunterlagen automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail Adresse erhalten.

Zu den geforderten Leistungen ist ein Hauptangebot abzugeben. Änderungen und Ergänzungen der Verdingungsunterlagen sind unzulässig. Nebenangebote sind nicht zugelassen. Das Angebot muss sämtliche Preise und eine ausführliche Beschreibung zum Angebotsumfang enthalten. Dadurch muss belegt werden, dass die Vorgaben der Leistungsbeschreibung vollumfänglich eingehalten werden. Das Angebot muss alle (sonstigen) geforderten Angaben und Erklärungen enthalten sowie rechtsverbindlich unterschrieben sein. Unvollständige Angebote werden ausgeschlossen.

Enthalten die Verdingungsunterlagen nach Auffassung des Bieters Unklarheiten oder sind diese zur Vertragsausführung unwirtschaftlich, fehlerhaft, unvollständig, nicht eindeutig oder sind die Leistungen objektiv so nicht ausführbar, so hat der Bieter die ausschreibende Stelle unverzüglich schriftlich auf dieses und die erkennbaren Folgen hinzuweisen.

Der Einwand, dass sich der Bieter über den Umfang der Leistung oder die Art und Weise der Ausführung nicht genügend informieren konnte, ist ausgeschlossen.

Unzulässig sind den Wettbewerb beschränkende Absprachen im Sinne des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen, insbesondere Verabredungen oder Empfehlungen über die Abgabe bzw. Nichtabgabe von Angeboten und über die zu fordernden Preise.

Das Angebot kann nur bis zum Ablauf der Angebotsfrist geändert, berichtigt oder zurückgezogen werden. Vom Ablauf der Angebotsfrist an bis zum Ablauf der Bindefrist ist der Bieter an sein Angebot gebunden. Das Angebot sowie alle Anlagen und die geforderten Nachweise müssen in sämtlichen Teilen in deutscher oder englischer Sprache vorliegen. Andere fremdsprachige Unterlagen werden nicht gewertet; es sei denn, es liegt eine beglaubigte Übersetzung bei.

Sämtliche Preisangaben sind in EURO zu machen.

*** Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihr Angebot in elektronischer Form. Laden Sie dies bei www.subreport.de bis zum Ablauf der Frist zur Abgabe (Eingangsdatum) hoch.

Fragen zu den Vergabeunterlagen sind ausschließlich elektronisch über die Vergabeplattform unter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation)” an die Vergabestelle zu richten. Anfragen per Email werden nicht beantwortet.

***

VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes
Postanschrift: Bundeskartellamt, Villemombler Straße 76
Ort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 2289499-0
Internet-Adresse: www.bundeskartellamt.de
VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:

Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen. Bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen ergeben, gilt dies bis spätestens zum Ablauf der Angebotsfrist. Teilt der Auftraggeber mit, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, kann innerhalb von 15 Kalendertagen ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer gestellt werden (§ 160 GWB).

VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
11/04/2022